第三百四十七章 半导体产业会议(1 / 4)

六月二十六日,徐申学视察了海湾科技,看到了已经处于量产阶段的hduv-600型光刻机。

当天晚上,海湾科技也在官网上首次公开了新一代duv浸润式光刻机hduv-600进入量产的消息。

并公布了该型光刻机已经交付了第一台给智云微电子,将会用于最先进的等效七纳米工艺。

这也是海湾科技首次对外公布该型光刻机的消息,包括一些详细的技术参数。

这个消息也引来了媒体、业内人士甚至普通人的诸多关注。

当天晚上,七点半新闻重点报告了该消息:本台记者消息,我国先进半导体装备企业海湾科技有限公司已经完成了最新一代duv浸润式光刻机的研发工作。

新型的hduv-600型光刻机已经达到国际领先水平,填补了我国尖端半导体装备领域的空白,有力促进了我国半导体制造行业的发展。

海湾科技负责人王道林表示,hduv-600光刻机的各项技术参数已经达到国际领先水平,乃是当下最先进的光刻机,可以用来制造最低七纳米工艺的芯片

一项设备的研发成功,能够做到上七点半新闻报道的程度,那可不容易,很少有设备能够做到这种程度的。

但是光刻机却是可以!

实际上,这不是海湾科技第一次上七点半新闻,实际上之前在hduv-400光刻机,也就是第一代duv浸润式光刻机研发成功后,就已经上过七点半新闻了,而当时的报道时长更长,更重视,还伴随着重要人员的视察……

当时电视报道画面,徐申学都只能站在一旁担任解说,为一群来宾介绍海湾科技的hduv-400型光刻机,陈述该型光刻机的重要历史意义以及现实意义。

现在报道hduv-600型光刻机的待遇,说实话都差了点……不过好歹也是关键技术突破,所以常规报道还是会有的。

hduv-600型研发成功并交付量产,这让国内很多人,尤其是一些自诩业内人士都感叹:是我太保守了。

前几年海湾科技搞出来hduv-400型号光刻机的时候,也引起了一片舆论的狂欢,不少业内人士也积极参与讨论。

当时也有相关的探讨,那就是:

海湾科技的光刻机,什么时候才能够追上asml的水准。

毕竟当时的hduv-400光刻机,其性能也就大概和nxt-1950相当。

而nxt1950出现的时候,那已经是2008年的事了,而该款光刻机也是推动半导体的芯片工艺从以往的六十五纳米,下探到32/28纳米工艺的核心设备。

或者说,正是因为有了这款光刻机,才让32/28工艺具备了大规模量产的可行性。

海湾科技可是花了好多年才弄出来了核心性能相当,但是生产效率还差一些的hduv-400型光刻机……但是,这款光刻机历史意义重大,因为该款光刻机的出现,意味着海湾科技突破了一系列duv浸润式光刻机的关键技术。

当时,人们所畅想的是,海湾科技继续努力,争取三年一个台阶,在解决28纳米工艺之后,三年内解决可以进行双重曝光,能够把工艺下探到10-22纳米工艺的光刻机。

至于更进一步,甚至能够进行四重曝光的光刻机,乐观估计,五年内能够解决就是巨大的胜利。

但是让人没有想到的是,海湾科技在突破了duv浸润式光刻机的关键技术后,在小型号的快速迭代上进展迅速,几乎一年一个台阶。

去年推出hduv-500型光刻机,把套刻精度做到了三点五纳米,实现了双重曝光的基本需求,可以用来做十四纳米工艺的芯片,一开始的性能上基本和nxt1965相当,但是不太成熟。

后来海湾科技推出了升级型号hduv-500a,虽然工作台产能一样,不过性能更好,更稳定,这款光刻机的性能除了产能低一些,其他性能指标基本上和nxt1970持平。

而智云微电子以及隔壁的中芯,还有国内其他一些芯片厂商大规模采购的海湾科技的先进光刻机,其实都不是hduv-500型号,而是hduv-500a型。

去年搞出来500型号就已经够夸张的了,结果海湾科技愣是在今年六月份的时候,就交付了更新一代的hduv-600型,把套刻精度直接拉到了二点五纳米的水准。

这一型号的核心性能水准,已经和nxt1980相当了……虽然还是有着老毛病,因为工作台不太行,所以生产效率低,后续的维护也会比较麻烦,但是还是太吓人了。

而要知道,虽然去年asml就已经搞出来了nxt1980光刻机,但实际上大规模出货也是在今年年初而已。

而海湾科技的同级别光刻机大规模出货,则是迟了半年左右!

这意味着,双方之间的差距从之前的十多年,再到四五年,然后又缩小到了现在的半年。

这一系列的技术进步速度,让很多人都感觉到不可思议。

别说外人不信了,自己人都不信……太尼玛夸张了。